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首先是單位的換算,很重要,
不然你會不知道在搞什麼。

1 in(吋)=2.54公分
所以8吋晶圓就是直徑為2.54cm*8,大約就是直徑為200mm的大小。


1 mm(毫米)=10^(-3)公尺
1 um(微米)=10^(-6)公尺
1 nm(奈米)=10^(-9)公尺

接著就是晶粒的介紹,
它是利用微影成像(黃光)製造出來的,
當然如果製程技術可以縮小線寬,就可以創造出更多的總晶粒(Gross Die),
直接影響到IC的製造成本。

出場的晶圓片,
當然要走完全部的製程流程,
(黃光、蝕刻、薄膜、擴散..等),
當然出場都會掃過defect、SEM...,
因為各機台都有可能產生Particle,
所以都訂一個容忍程度,
合理的微塵(Particle)規格(Spec.)。

 

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哈,了解的大概如此,
還有一些必須搞懂,
Overlay補值.....等,
待續...

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    阿賢 發表在 痞客邦 留言(0) 人氣()